Μπορεί να επεξεργαστεί έως και 10.000 πλακίδια ανά ώρα σε γραμμές παραγωγής ηλιακών κυψελών επαφής με οξείδιο σήραγγας μεγάλου όγκου
Η Centrotherm (γερμανικός πάροχος εξοπλισμού και τεχνολογίας θερμικής επεξεργασίας φωτοβολταϊκών), λάνσαρε το c.Plasma Q Max.
Πρόκειται για εργαλείο χημικής εναπόθεσης ατμών με ενίσχυση πλάσματος (PECVD). Απευθύνεται σε κατασκευαστές τεχνολογιών κυψελών επαφής με οξείδιο σήραγγας (TOPCon), συμπεριλαμβανομένων εκείνων που αναβαθμίζονται από τα κύρια στοιχεία παθητικού εκπομπού και οπίσθιας επαφής (PERC).
Το σύστημα μπορεί να επεξεργαστεί έως και 10.000 πλακίδια ανά ώρα σε γραμμές παραγωγής ηλιακών κυψελών TOPCon μεγάλου όγκου.
Διαθέτει έναν μόνο θάλαμο επεξεργασίας στον οποίο μπορούν να υποστούν επεξεργασία 3 φορτωμένα γραφιτικά σκάφη σε μία μόνο λειτουργία.
Επιτρέπει τον σχηματισμό εξαιρετικά λεπτών στρώσεων οξειδίου σήραγγας και προσμιγμένου πολυπυριτίου (poly-Si), παρέχοντας πρόσμειξη in situ με ρυθμό εναπόθεσης 20 nm/min. Σύμφωνα με τον κατασκευαστή, μπορούν να εναποτεθούν περισσότερα από ένα στρώματα σε μία εκτέλεση με την εναλλαγή αερίων διεργασίας.
Υποστηρίζεται η εναπόθεση τυπικών στρωμάτων TOPCon, όπως νιτρίδιο του πυριτίου (SiNx) και οξείδιο του πυριτίου (SiOx). Εκτός από την εναπόθεση στρωμάτων οξειδίου σήραγγας πολυ-Si-πολυσιλικού με και χωρίς ντοπαρίσματα και την εναπόθεση στρωμάτων κάλυψης SiNx, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για επιστρώσεις αντι-ανακλαστικής (AR) εμπρόσθιας πλευράς σε ένα ευρύ φάσμα μήκους κύματος.
Το σύστημα δεν απαιτεί καμία αλλαγή σωλήνα χαλαζία και επένδυσης χαλαζία λόγω της χρήσης θαλάμου διεργασίας αλουμινίου, σύμφωνα με την εταιρεία. Είναι συμβατό με τα ακόλουθα μεγέθη πλακιδίων: M10, M12, G12R και ημικελιά.
Από το 2025, η Centrotherm είχε μια εγκατεστημένη βάση 50 γραμμών "με το κλειδί στο χέρι" και 4.300 συστημάτων θερμικής διεργασίας.
www.worldenergynews.gr
